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Installation einer autonomen Reinraum-Überwachung

Lehrstuhl: Hochfrequenztechnik

Betreuer: Till Stramm, Inga Rittner,

Beginn ab: 01.04.2020

Maximale Anzahl der Teilnehmer: 6

Beschreibung: Die Technologielinie im Reinraumbereich des Lehrstuhls für Hochfrequenztechnik verfügt über viele Gerätschaften, für die eine Überwachung der Prozessabläufe nur direkt am entsprechenden Monitor möglich ist. Eine remote Ansteuerung gestaltet sich aufgrund herrstellerspezifischer Merkmale schwierig. Bei laufenden Prozessen ist daher die Anwesenheit des/der entsprechenden Mitarbeiter*in im Reinraum erforderlich. Um den jeweiligen Prozess dauerhaft kontrollieren zu können, ist es oft unabdingbar, zwischendurch den Reinraum zu betreten und zu verlassen. Beispiel wäre hier das Abpumpen einer Vakuumkammer, was mehrere Stunden dauern kann. Um zu überprüfen, ob das gewünschte Vakuum erreicht ist, muss der/die entsprechende Mitarbeiter*in dies vor Ort kontrollieren. Ist dies nicht der Fall war das zeit- und materialintensive Ein- und Ausschleusen in der Reinraumschleuse unnötig und muss später wiederholt werden. Um dies zu vermeiden wäre eine Überwachung der jeweiligen Geräteanzeigen wünschenswert. Konkret geht es dabei um die RIE (Reactive Ion Etching), die PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) und den Elektronenstrahl-Verdampfer.
Eine Idee für die Realisierung des Projektes ist die Installation von Web Cams und die Einrichtung einer Web-Oberfläche über einen Raspberry PI, auf welcher die Webcams vom Lehrstuhlnetzwerk abgerufen werden können. Erweiterungen des Projektes sind dabei je nach Zeitaufwand beliebig möglich, zum Beispiel durch eine Bilderkennung der Anzeigen und automatische Generierung von Nachrichten an die jeweiligen Betreiber.
Darüber hinaus können die Studenten im Rahmen dieses Projekts die technologischen Abläufe in unserer Reinraumtechnologie kennen lernen und sich mit den verschiedenen Gerätschaften vertraut machen.


 

Die Projektgruppe findet statt!

Teilnehmer: 188328, 180315, 178452, 192616, 183618,